隨著人(ren)們對(dui)(dui)(dui)生(sheng)活品質(zhi)的(de)(de)提高(gao)，對(dui)(dui)(dui)其(qi)生(sheng)產品質(zhi)的(de)(de)要(yao)求(qiu)也越來越嚴格。電(dian)子廠(chang)與其(qi)他行業在無塵(chen)車間(jian)(jian)的(de)(de)建設規劃時在于主(zhu)要(yao)對(dui)(dui)(dui)靜(jing)電(dian)的(de)(de)控制：高(gao)濕度(du)實際(ji)上減小了(le)無塵(chen)車間(jian)(jian)、潔(jie)凈室(shi)表面的(de)(de)靜(jing)電(dian)荷積累──這是大家希(xi)望的(de)(de)結(jie)果。較低的(de)(de)濕度(du)比較適合電(dian)荷的(de)(de)積累并成為潛在的(de)(de)具有破壞性的(de)(de)靜(jing)電(dian)釋放源。
當相(xiang)對(dui)濕度超(chao)過50%時，靜(jing)電(dian)荷(he)開始迅速消散，但是當相(xiang)對(dui)濕度小于30%時，它們可以(yi)在絕緣(yuan)體(ti)或(huo)者未接地的表面上持續(xu)存在很長一(yi)段時間(jian)。
相(xiang)對濕度(du)(du)在35%到40%之間可(ke)以作(zuo)為(wei)一(yi)個(ge)令人滿意的(de)折中(zhong)，半導體無(wu)塵車間、潔凈(jing)室一(yi)般都(dou)使用額(e)外的(de)控制裝置以限制靜電荷的(de)積累。很(hen)多化(hua)學(xue)反(fan)(fan)應(ying)的(de)速度(du)(du)，包括(kuo)腐(fu)蝕(shi)過程(cheng)，將隨著相(xiang)對濕度(du)(du)的(de)增(zeng)高(gao)而加快。所(suo)有暴露在無(wu)塵車間、潔凈(jing)室周圍空氣中(zhong)的(de)表面都(dou)很(hen)快地被覆蓋上至少一(yi)層(ceng)單分(fen)子層(ceng)的(de)水(shui)。當這些表面是(shi)由可(ke)以與水(shui)反(fan)(fan)應(ying)的(de)薄金屬(shu)涂層(ceng)組(zu)成時，高(gao)濕度(du)(du)可(ke)以使反(fan)(fan)應(ying)加速。幸運的(de)是(shi)，一(yi)些金屬(shu)，例(li)如(ru)鋁，可(ke)以與水(shui)形成一(yi)層(ceng)保護型的(de)氧(yang)(yang)化(hua)物(wu)，并阻止進(jin)一(yi)步(bu)的(de)氧(yang)(yang)化(hua)反(fan)(fan)應(ying);但另(ling)一(yi)種情況是(shi)，例(li)如(ru)氧(yang)(yang)化(hua)銅(tong)，是(shi)不具有保護能力的(de)，因此，在高(gao)濕度(du)(du)的(de)環境中(zhong)，銅(tong)制表面更容易受到腐(fu)蝕(shi)。
總結電子行(xing)業無塵車間(jian)溫濕度的(de)控制主要在于(yu)其生(sheng)產(chan)工藝的(de)要求：下面(mian)我們舉例說明：
舉(ju)例一)
在(zai)精密機械加工和計量(liang)等場合，為了防止(zhi)因熱膨脹而引起的(de)誤(wu)差，必須使工件保持一(yi)定(ding)(ding)的(de)溫(wen)度(du)。工件溫(wen)度(du)的(de)允許波動(dong)幅度(du)應根據加工精度(du)決(jue)定(ding)(ding)。例如(ru)，在(zai)恒(heng)溫(wen)室(shi)里(li)對一(yi)根長500mm的(de)標準尺(chi)刻線，工藝(yi)允許線間公差為2um，其中lum為尺(chi)溫(wen)變化(hua)所引起的(de)形變誤(wu)差，另1um為加工與量(liang)測誤(wu)差。1um折合尺(chi)溫(wen)變化(hua)量(liang)＝0.20C[a為尺(chi)線膨脹系數，取(qu)10／um／(m?K)；l為尺(chi)長，m]，故工件溫(wen)度(du)變化(hua)需(xu)在(zai)以內。
但由于(yu)工(gong)件測量儀(yi)器等都(dou)有(you)一(yi)定(ding)的(de)(de)(de)熱(re)惰(duo)性，空氣溫(wen)度(du)的(de)(de)(de)波動(dong)傳人工(gong)件后，就要衰減。在設(she)計恒(heng)(heng)(heng)溫(wen)系統(tong)時(shi)，一(yi)般總是以恒(heng)(heng)(heng)定(ding)環境空氣溫(wen)度(du)為依據，故(gu)相(xiang)應(ying)的(de)(de)(de)環境溫(wen)度(du)精(jing)度(du)可比工(gong)件允許的(de)(de)(de)溫(wen)度(du)精(jing)度(du)低一(yi)些。因此，在確定(ding)恒(heng)(heng)(heng)溫(wen)室參(can)數和選擇自動(dong)控制時(shi)，必須考慮工(gong)件恒(heng)(heng)(heng)溫(wen)恒(heng)(heng)(heng)濕車間、圍(wei)護(hu)結(jie)構、空氣處理設(she)備(bei)和自控系統(tong)之間的(de)(de)(de)動(dong)態特(te)性。
舉例二）
在電(dian)(dian)(dian)子(zi)行(xing)(xing)業(ye)(ye)制造(zao)車間(jian)(jian)是最重要產生靜(jing)(jing)電(dian)(dian)(dian)的(de)地方，通(tong)(tong)常(chang)(chang)靜(jing)(jing)電(dian)(dian)(dian)會(hui)(hui)對(dui)(dui)產品(pin)造(zao)成短(duan)路甚至會(hui)(hui)造(zao)成員工導電(dian)(dian)(dian)暈倒(dao)事故，所(suo)以電(dian)(dian)(dian)子(zi)行(xing)(xing)業(ye)(ye)的(de)無塵(chen)車間(jian)(jian)相對(dui)(dui)濕度不應(ying)低(di)于(yu)30%，這樣即(ji)可以減少靜(jing)(jing)電(dian)(dian)(dian)的(de)產生，通(tong)(tong)常(chang)(chang)建議無塵(chen)車間(jian)(jian)的(de)防靜(jing)(jing)電(dian)(dian)(dian)區(qu)域(yu)相對(dui)(dui)濕度不低(di)于(yu)50%。過(guo)于(yu)干燥的(de)空氣(qi)中(zhong)易粉塵(chen)飛揚，電(dian)(dian)(dian)子(zi)廠無塵(chen)車間(jian)(jian)無特殊要求的(de)情況下(xia)，溫(wen)度控制在22℃左右，相對(dui)(dui)濕度控制在55～60%RH之(zhi)間(jian)(jian)，在這種環境下(xia)，人們感(gan)覺舒適，靜(jing)(jing)電(dian)(dian)(dian)也消失了。
舉(ju)例三）
SMT車間對溫度和濕度有明確的(de)要求
首先主要是(shi)為了錫膏(gao)能工作在(zai)一個較好的(de)(de)(de)(de)環境(jing)，溫(wen)度會(hui)影(ying)(ying)響錫膏(gao)的(de)(de)(de)(de)活性，對于里面所添(tian)加的(de)(de)(de)(de)助焊(han)劑的(de)(de)(de)(de)相關溶劑的(de)(de)(de)(de)活性有一定的(de)(de)(de)(de)影(ying)(ying)響。溫(wen)度高會(hui)增加其的(de)(de)(de)(de)活性，最終影(ying)(ying)響絲印貼裝及回流的(de)(de)(de)(de)效(xiao)果。容(rong)易(yi)出現虛焊(han)，焊(han)點不(bu)光澤等(deng)現象。濕(shi)度的(de)(de)(de)(de)大小回引起錫膏(gao)在(zai)空氣中吸(xi)入水氣的(de)(de)(de)(de)多(duo)(duo)少，如(ru)過吸(xi)如(ru)過多(duo)(duo)水氣，會(hui)使(shi)回流時產生(sheng)氣空，飛漸，連(lian)焊(han)等(deng)現象。故SMT恒溫(wen)恒濕(shi)車間溫(wen)濕(shi)度標準:溫(wen)度:24±2℃濕(shi)度:50±10%。
舉例四）
在大規模集(ji)成電路生(sheng)(sheng)產(chan)的(de)(de)光刻曝光工藝中，作(zuo)為掩膜板材料的(de)(de)玻璃與硅(gui)片的(de)(de)熱膨(peng)脹系數的(de)(de)差(cha)要(yao)求(qiu)越來越小。直徑100um的(de)(de)硅(gui)片，溫度(du)上升1度(du)，就引起(qi)了0.24um線性膨(peng)脹，所以必(bi)須有(you)±0.1度(du)的(de)(de)恒(heng)溫，同(tong)時要(yao)求(qiu)濕(shi)度(du)值一(yi)般較低，因(yin)為人出(chu)汗以后(hou)，對產(chan)品將有(you)污染，特別是怕鈉的(de)(de)半導體車間(jian)，這種(zhong)車間(jian)不宜超過(guo)25度(du)。濕(shi)度(du)過(guo)高產(chan)生(sheng)(sheng)的(de)(de)問題(ti)更(geng)多。相(xiang)對濕(shi)度(du)超過(guo)55%時，冷卻水管壁上會(hui)結露(lu)，如果發生(sheng)(sheng)在精密裝置或電路中，就會(hui)引起(qi)各種(zhong)事故。相(xiang)對濕(shi)度(du)在50%時易生(sheng)(sheng)銹。
所(suo)(suo)以無塵車(che)間(jian)的溫濕(shi)(shi)度控制(zhi)由其生產工(gong)藝決(jue)定，但其精(jing)(jing)度同(tong)時也要看其房(fang)(fang)間(jian)的大(da)小(xiao)例(li)如計量(liang)室、光柵刻線室、精(jing)(jing)密儀器制(zhi)造和(he)裝配車(che)間(jian)等。前兩(liang)者都為小(xiao)房(fang)(fang)間(jian)，空調(diao)精(jing)(jing)度(這里主要指溫濕(shi)(shi)度)要求高；后兩(liang)者為較大(da)的生產車(che)間(jian)，溫濕(shi)(shi)精(jing)(jing)度要求較低。所(suo)(suo)以其房(fang)(fang)間(jian)大(da)小(xiao)也會(hui)決(jue)定恒溫恒濕(shi)(shi)車(che)間(jian)的精(jing)(jing)度。